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輪廓形狀測(cè)定機(jī)
EF650
產(chǎn)品特點(diǎn)：
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測(cè)定范圍 |
Z:50mm X:100mm |
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測(cè)定精度 |
Z:士0.25%/滿刻度 |
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最大測(cè)定徑 |
內(nèi)外徑都是?550mm |
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觸針/測(cè)定力 |
R25μm 30mN以下 |
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測(cè)定角度 |
上坡77° 下坡87° |
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測(cè)定倍率 |
縱橫均為1~200倍 |
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分解能 |
Z:0.1μm |
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直線度精度 |
1.0μm/100mm |
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